Подробное описание документа

Сергеев А. Н.
   Тугоплавкие оксиды и их соединения в тонком слое/Томский государственный университет; Под редакцией В. В. Серебренникова / Сергеев А. Н. - 1989. - 296 с.

В книге рассматриваются твердофазные превращения тугоплавких оксидов и их соединений в приповерхностных слоях и конденсированных плёнках с преимущественно диэлектрическими свойствами. Для этого показано, что изменения химического состава, вызванные близостью поверхности и сопровождаемые обеднением по анионной подрешётке в ириповерхностном слое, аналогичны условиям пленочной технологии образующегося кислородного соединения. Возможные пути и поведение продуктов твердофазных превращений рассмотрены на примерах окисления в различных средах, растворения и инициируемого разложения под действием энергетических потоков. При этом значительное внимание уделяется ионообменным реакциям и локализации протекающих процессов.
Для научных работников, инженеров и аспирантов, связанных с пленочной технологией оксидных покрытий, и специалистов, занимающихся физикохимией материалов в тонком слое.