1 запись
Статья
Вопилкина Е. А.
Возможности микроэлектромеханических систем / Вопилкина Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. -С. 47-50 .
Возможности микроэлектромеханических систем / Вопилкина Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. -
