1 запись
Статья
Шаповалов В. И.
Модели реактивного распыления при синтезе тонких пленок соединений / Шаповалов В. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -С. 14-27 .
Модели реактивного распыления при синтезе тонких пленок соединений / Шаповалов В. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -
