1 запись
Статья
Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г.
Разработка МЭМС / Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. -С. 28-34 .
Разработка МЭМС / Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. -
