Расширенный поиск

Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
   Контактная фотолитография и травление тонкоплёночных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 38. - ISBN 978-5-7038-5369-6.