Расширенный поиск
3 записи
Жигалина О. М.
Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.:с. 104-108 . - ISBN 978-5-7038-4743-5 .
Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.:
Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии : учеб. пособие / Шашурин В. Д., Малышев К. В., Мешков С. А. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 42 с. : ил. - Библиогр.: с. 41 .
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -ISBN 978-5-507-45478-5 .
Ч. 3 : Эпитаксиальный рост. - 2025. - 212 с. : ил. - Библиогр.:с. 207-210 . - ISBN 978-5-507-45481-5 .
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -
Ч. 3 : Эпитаксиальный рост. - 2025. - 212 с. : ил. - Библиогр.: