Бубенников А. Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: учеб. пособие для студ. ВУЗов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" / Бубенников А. Н. - 1989. - 319 с.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о технических файлах (cookie).