Расширенный поиск

Панфилов Ю. В.
   Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 15-20.

Панфилов Ю. В.
   Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - С. 23-32.

Панфилов Ю. В.
   Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. - С. 2-4.

Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
   Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.: с. 178-179. - ISBN 978-5-7038-3499-2.

Панфилов Ю. В.
   Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 89. - ISBN 978-5-7038-5350-4.

Панфилов Ю. В.
   Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.: с. 125. - ISBN 978-5-7038-3501-2.

Панфилова Е. В.
   Исследование планарных опаловых структур методами сканирующей туннельной микроскопии / Панфилова Е. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 122-124.

Панфилова Е. В.
   Организация контроля и моделирование технологического процесса : практикум / Панфилова Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 35 с. - Библиогр.: с. 18. - ISBN 978-5-7038-5469-3.

Панченко Б. А., Гизатуллин М. Г.
   Нано-антенны / Панченко Б. А., Гизатуллин М. Г. - М. : Радиотехника, 2010. - 87 с. : ил. - Библиогр.: с. 86-87. - ISBN 978-5-88070-247-3.

Панченко Б. А.
   Рассеяние и поглощение электромагнитных волн неоднородными сферическими телами : [монография] / Панченко Б. А. - 978-5-880070-318-0. - М. : Радиотехника, 2013. - 255 с. : ил. - Библиогр.: с. 253-256.