Расширенный поиск

   Оценка и обеспечение надежности изделий микро- и наноэлектроники, микросистемной техники : учебное пособие / Тимошенков С. П., Заводян А. В., Симонов Б. М., Горошко В. Н. - М. : Изд-во МИЭТ, 2013.
   Ч. 2. - 2013. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 142-149. - ISBN 978-5-7256-0720-8.

Панфилов Ю. В.
   Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 15-20.

Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
   Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.: с. 178-179. - ISBN 978-5-7038-3499-2.

Партала О. Н.
   Цифровая электроника / Партала О. Н. - СПб. : Наука и Техника, 2000. - 208 с. : ил. - (Радиомастер). - Библиогр.: с. 203-204. - ISBN 5-7931-0102-0.

Парфенов О. Д.
   Технология микросхем : учеб. пособие для вузов / Парфенов О. Д. - М. : Высшая школа, 1986. - 318 с. : ил. - Библиогр.: с. 317.

Парфенов О. Д.
   Топологическое проектирование микросхем высокой степени интеграции : метод. указания к курсовому проектированию по курсу "Микроминиатюризация электронно-вычислительных средств" / Парфенов О. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 24.

Пархутик В. П., Лабунов В. А.
   Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике / Пархутик В. П., Лабунов В. А. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 279 с. : рис., граф. - Библиогр.: с. 252-276. - ISBN 5-343-00522-5.

Перевозчикова Д. С., Андреев В. В.
   Влияния прогиба кремниевой полупроводниковой пластины с диэлектрической изоляцией на качество фотолитографии / Перевозчикова Д. С., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции (Калуга, 23 - 25 апреля 2024 года) : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 153-156.

Перевозчикова Д. С., Андреев В. В.
   Сравнительный анализ качества топологического рельефа кристалла микросхемы методами контактной и проекционной фотолитографии / Перевозчикова Д. С., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции, Калуга, 19-21 ноября 2025 г. : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 80-82.

Перельман Б. Л., Шевелев В. В.
   Отечественные микросхемы и зарубежные аналоги : справочник / Перельман Б. Л., Шевелев В. В. - М. : НТЦ Микротех, 2000. - 375 с. - На обложке авторы не указаны. - ISBN 5-85823-006-7.