33060 записей
Статья
Панфилов Ю. В.
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. -С. 523-527 .
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. -
Статья
Панфилов Ю. В.
Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. -С. 6-15 .
Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. -
Статья
Панфилов Ю. В.
Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). -С. 23-32 .
Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). -
Статья
Панфилов Ю. В.
Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. -С. 2-4 .
Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. -
Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:с. 178-179 . - ISBN 978-5-7038-3499-2 .
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:
Панфилов Ю. В.
Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.:с. 89 . - ISBN 978-5-7038-5350-4 .
Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.:
Панфилов Ю. В.
Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.:с. 125 . - ISBN 978-5-7038-3501-2 .
Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.:
Статья
Панфилова Е. В.
Исследование планарных опаловых структур методами сканирующей туннельной микроскопии / Панфилова Е. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -С. 122-124 .
Исследование планарных опаловых структур методами сканирующей туннельной микроскопии / Панфилова Е. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -
Панфилова Е. В.
Организация контроля и моделирование технологического процесса : практикум / Панфилова Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 35 с. - Библиогр.:с. 18 . - ISBN 978-5-7038-5469-3 .
Организация контроля и моделирование технологического процесса : практикум / Панфилова Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 35 с. - Библиогр.: