25 записей
Автореферат диссертации
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
1 экз.
Диссертация
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:л. 30-32 .
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:
1 экз.
Автореферат диссертации
Лубенец В. Д.
Исследование, теория и расчёт объемных вакуум-насосов и установок низкого вакуума : автореф. дис... дтн / Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1967. - 24 с. : ил.
Исследование, теория и расчёт объемных вакуум-насосов и установок низкого вакуума : автореф. дис... дтн / Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1967. - 24 с. : ил.
1 экз.
Диссертация
Лубенец В. Д.
Исследование, теория и расчёт объёмных вакуум-насосов и установок низкого вакуума : дис... дтн : в 2 ч. / Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1967.
Ч. 2 : фигуры. - 1967. - 150 л. : ил.
Исследование, теория и расчёт объёмных вакуум-насосов и установок низкого вакуума : дис... дтн : в 2 ч. / Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1967.
Ч. 2 : фигуры. - 1967. - 150 л. : ил.
1 экз.
Диссертация
Лубенец В. Д.
Исследование, теория и расчёт объёмных вакуум-насосов и установок низкого вакуума : дис... дтн : в 2 ч. / Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1967.
Ч. 1 : текст. - 1967. - 255 л. : ил. - Библиогр.:л. 252-255 .
Исследование, теория и расчёт объёмных вакуум-насосов и установок низкого вакуума : дис... дтн : в 2 ч. / Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1967.
Ч. 1 : текст. - 1967. - 255 л. : ил. - Библиогр.:
1 экз.
