Расширенный поиск

   Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления / Сагателян Г. Р., Грачев И. Ю., Бугорков К. Н., Федоркова Н. В. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХI век. - 2020. - Т. 12, № 1. - С. 29-42.

   Рентгеновская оптика : сборник статей / Академия наук СССР ; отв. ред. тома Ораевский А. Н. - М. : Наука, 1989. - 181 с. : рис., табл. - (Труды / Физический институт им. П. Н. Лебедева ; т. 196). - Библиогр.: с. 3, в конце статей. - ISBN 5-02-000019-1. - ISSN 0203-5820.

Савинов В. П.
   Физика высокочастотного емкостного разряда : [монография] / Савинов В. П. - М. : Физматлит, 2013. - 307 с. : ил. - Библиогр.: с. 297-307. - ISBN 978-5-9221-1551-3.

Савичкин Д. О., Кристя В. И.
   Моделирование методом Монте-Карло энергетических спектров ионов и быстрых атомов у поверхности электрода в слаботочном разряде в смеси аргона с парами ртути / Савичкин Д. О., Кристя В. И. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2019. - № 2. - С. 107 - 112.

Савичкин Д. О.
   Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности : автореф. дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Савичкин Д. О. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2019. - 16 с. : ил.

Савичкин Д. О.
   Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности : дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Савичкин Д. О. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2019. - 119 л. : ил. - Библиогр.: л. 105-119.

Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н.
   Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы / Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХI век. - 2024. - Т. 16, № 2. - С. 54-71.

Семенов А. П.
   Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.: с. 106-118. - ISBN 5-7623-1110-4.

Сидорова С. В., Егорова С. И.
   Моделирование влияния режимов ионно-лучевой обработки на шероховатость поверхности / Сидорова С. В., Егорова С. И. // Технологии разработки и отладки сложных технических систем : материалы 9-ой Всероссийской научно-практическойя конференции, Москва, 5-6 апреля 2023 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Центр инженерных технологий и моделирования "Экспонента". - 2024. - Т. 2. - С. 226-229.

Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е.
   Расчет параметров и моделирование системы ионной обработки в вакууме / Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е. // Известия ВУЗов России. Радиоэлектроника. - 2026. - Т. 29, № 1-2. - С. 40-54.